Apraksts
WLI (While light interferometry) tehnoloģija apvienojumā ar pjezomotoru ļauj veikt ārkārtīgi ātrus mērījumus.
Galds ļauj manuāli pārvietot sagataves, kas sver līdz 5 kg. Motorizēti galdi ir pieejami kā opcija, lai paplašinātu X&Y mērījumu diapazonu.
Tehniskā specifikācija
| Specifications | WLI 2.5x | WLI 5x | WLI 10x | WLI 20x | WLI 50x | WLI 100x | |
| Resolution | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.1 nm | |
| Lateral resolution (X/Y) | 4.81 µm | 4.81 µm | 1.2 µm | 0.9 µm | 0.66 µm | 0.52 µm | |
| Measuring range | 400 µm | 400 µm | 400 µm | 400 µm | 400 µm | 400 µm | |
| Measuring range X/Y | ~4536 µm x
~3447 µm |
~2268 µm x
~1723 µm |
~1134 µm x
~861 µm |
~567 µm x
~430 µm |
~226 µm x
~172 µm |
~113 µm x
~86 µm |
|
| Optical Zoom | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 50x | |
| Working distance | ~10.3 mm | ~9.3 mm | ~7.4 mm | ~4.7 mm | ~3.4 mm | ~3.4 mm | |
Z-ass nobīde
Z-ass braukšanas ritenim ir divas funkcijas: ātra kustība un precīza pozicionēšana, lai viegli pielāgotu darba attālumu.
Slīpuma regulēšana
Galda slīpuma regulēšana tiek veikta, izmantojot divas pogas galda priekšpusē.
Montāžas pamatnes
Galda īkšķrats nodrošina precīzu kustību X un Y.
Optika
Optikas karuselis ir pieejams kā opcija.
